De acordo com pt.wedoany.com-Em 19 de julho, o Grupo Binzhou iniciou a produção de gás fluoreto de hidrogênio de alta pureza de grau eletrônico no âmbito do Projeto Beikun e lançou novos produtos. O Grupo Binzhou alcançou avanços tecnológicos em quatro etapas: processo, engenharia, detecção e enchimento, formando um controle fechado desde a preparação até a embalagem. Seu produto de fluoreto de hidrogênio de alta pureza para semicondutores atinge o grau 6N (99,9999%), estando em nível internacional de ponta.
O fluoreto de hidrogênio de alta pureza é conhecido como o "sangue" da fabricação de semicondutores, sendo um material insubstituível na limpeza, gravação e manutenção de câmaras, cuja pureza determina diretamente o rendimento das pastilhas de silício. O fluoreto de hidrogênio de alta pureza grau 6N é essencial para processos avançados de 28 nanômetros ou menos. A China dependia há muito tempo de importações, com empresas estrangeiras monopolizando cerca de 80% do mercado global de fluoreto de hidrogênio de alta pureza grau 6N.
O fluoreto de hidrogênio de grau semicondutor exige pureza acima de 99,999% (5N). A transição de 5N para 6N não é apenas uma purificação adicional, mas requer um sistema de purificação completamente novo. Segundo Liu Teng, Gerente Geral da Divisão de Produtos Químicos Especiais do Grupo Binzhou, a chave para alcançar a pureza 6N é remover impurezas miscíveis como água traço, dióxido de carbono e compostos orgânicos oxigenados do fluoreto de hidrogênio. O Grupo Binzhou projetou um sistema de múltiplas colunas de destilação acopladas na seção de destilação, otimizando os componentes internos da coluna e a janela operacional para remover profundamente impurezas de carbono e oxigênio sob gradientes de pressão específicos, controlando essas impurezas-chave na origem. Simultaneamente, para lidar com a interferência ambiental na análise de dióxido de carbono, o Grupo Binzhou desenvolveu de forma independente um sistema de amostragem selado e preciso, juntamente com um esquema de análise de alta sensibilidade, minimizando a interferência de fundo ambiental durante a amostragem, garantindo que os dados analíticos reflitam verdadeiramente a qualidade do produto e assegurando a estabilidade e confiabilidade do índice 6N.
O avanço para 6N é resultado de uma pesquisa tecnológica sistemática em quatro aspectos: processo, engenharia, detecção e enchimento. No lado da engenharia, o Grupo Binzhou superou o controle de precipitação de impurezas na seleção de materiais e a tecnologia de circulação de fluxo, garantindo que o processo de preparação seja livre de contaminação. No lado do enchimento, superou a proteção de pré-tratamento de cilindros e a tecnologia de remoção e substituição de impurezas, assegurando o último ponto de controle antes da saída do produto. Essas quatro áreas formam um ciclo fechado, mantendo a qualidade do produto estável no nível 6N, atingindo padrões internacionais de ponta.
Atualmente, o preço de mercado do fluoreto de hidrogênio de alta pureza grau 6N é superior a 2 milhões de yuans por tonelada. O Grupo Binzhou concluiu a construção e comissionamento de uma linha de enchimento de cilindros de fluoreto de hidrogênio de alta pureza com capacidade anual de 50 toneladas, obteve a licença de enchimento de cilindros emitida pelo Instituto Provincial de Inspeção Especial de Shandong, possui procedimentos completos de produção, enchimento e venda, e já iniciou a apresentação de produtos para clientes-chave nacionais e internacionais.
