SurplusGlobal, da Coreia do Sul, obtém três patentes de tecnologia de diagnóstico de equipamentos ALD e IA

De acordo com pt.wedoany.com-A SurplusGlobal, empresa de distribuição de equipamentos e peças semicondutoras, anunciou o registro de três patentes sul-coreanas relacionadas ao processo ALD (Deposição de Camada Atômica) e à transferência de wafers, marcando a expansão de seus negócios, que passam da negociação de equipamentos usados para capacidades técnicas de recondicionamento e atualização de equipamentos. A SurplusGlobal divulgou no dia 15 que obteve três patentes sul-coreanas, abrangendo um sistema de vedação de reator ALD e método de remoção de vedação, um método e sistema de monitoramento de válvulas ALD, e um dispositivo de detecção de transportador de wafer e sistema de carregamento de wafer. A empresa afirma que o significado deste registro de patentes reside no fato de que ele vai além da mera negociação de equipamentos semicondutores usados, fortalecendo a capacidade técnica de recondicionamento e atualização para melhorar o desempenho e o valor de utilização dos equipamentos.

A patente do sistema de vedação de reator ALD e método de remoção de vedação aumenta a confiabilidade do processo através do controle estável da pressão interna do reator. Esta tecnologia gerencia com precisão a diferença de pressão entre as regiões superior e inferior do reator, visando minimizar os desequilíbrios de pressão que podem ocorrer durante a execução do processo. Isso ajuda a reduzir os riscos durante a abertura, manutenção e reinicialização do equipamento, além de melhorar a reutilização e a confiabilidade operacional dos equipamentos existentes. A patente do método e sistema de monitoramento de válvulas ALD analisa o estado das válvulas, componentes principais dos equipamentos semicondutores, com base em IA. Esta tecnologia analisa em tempo real os dados de abertura e fechamento das válvulas, pressão e fluxo, permitindo a detecção precoce de sinais anormais e a previsão de estados futuros, sendo usada para otimizar o sistema de manutenção preventiva e servindo como tecnologia base para apoiar o gerenciamento do estado de componentes críticos e prolongar a vida útil do equipamento.

A patente do dispositivo de detecção de transportador de wafer e sistema de carregamento de wafer detecta com precisão o estado de alinhamento durante o transporte e carregamento do wafer. Esta tecnologia utiliza sensores visuais para analisar em tempo real a posição e o estado de alinhamento do wafer, podendo detectar rapidamente possíveis desalinhamentos durante o transporte, contribuindo para melhorar a produtividade e a estabilidade da qualidade durante a reinicialização do equipamento e a aplicação do processo.

A SurplusGlobal, ao realizar negociações de equipamentos semicondutores usados, reforma e serviços técnicos, acumula continuamente capacidades técnicas relacionadas à operação, manutenção e estabilidade do processo dos equipamentos. A empresa realiza atividades de avaliação de equipamentos, validação de processos, suporte técnico e treinamento com base no cluster de equipamentos semicondutores de Yongin, e este registro de patentes é o resultado da experiência de campo e das atividades de P&D. Esta empresa está expandindo seu portfólio técnico, passando da mera revenda de equipamentos usados para uma empresa de recondicionamento e atualização de equipamentos semicondutores que diagnostica e melhora o estado dos equipamentos, atribuindo-lhes novo valor de utilização. A estabilização do processo ALD, o diagnóstico de equipamentos baseado em IA e a tecnologia de transferência de wafers são considerados tecnologias centrais para aumentar a reutilização de equipamentos existentes e contribuir para a estabilidade e produtividade do processo de produção de semicondutores. A SurplusGlobal opera a plataforma de negociação de equipamentos e peças semicondutoras "SemiMarket" e, recentemente, também registrou uma patente relacionada à tecnologia de automação de controle de exportação baseada em IA (ECP AI Agent), fortalecendo simultaneamente as capacidades de tecnologia de equipamentos e plataforma digital. A empresa planeja conectar dados de negociação de equipamentos e peças, tecnologia de processo e tecnologia de diagnóstico de IA para promover a reutilização, recirculação e revalorização de equipamentos semicondutores, e expandir sua competitividade técnica no sentido de aumentar a eficiência e a sustentabilidade da cadeia de suprimentos global de semicondutores. Kim Jeong-woong, representante da SurplusGlobal, afirmou que o recondicionamento e atualização de equipamentos semicondutores não é simplesmente reutilizar equipamentos usados, mas sim diagnosticar corretamente o estado do equipamento, melhorar seu desempenho e valor de utilização, permitindo que seja reutilizado no ecossistema industrial. Este registro de patentes se tornará uma importante oportunidade para a SurplusGlobal fortalecer simultaneamente seus negócios de negociação de equipamentos e suas capacidades técnicas de processo. Ele acrescentou que a empresa está expandindo a aplicação das patentes de ALD e tecnologia de diagnóstico de equipamentos baseada em IA já obtidas para a área de equipamentos de processo de gravação, com o objetivo futuro de estender as soluções inteligentes para o conjunto de principais equipamentos de processo tradicionais.