Instituto de Máquinas da Coreia desenvolve sistema inteligente de semicondutores bidimensionais baseado em IA

De acordo com pt.wedoany.com-O Instituto de Máquinas da Coreia (KIMM) desenvolveu pela primeira vez uma tecnologia capaz de analisar e controlar semicondutores bidimensionais em nível atômico (1 a 2 nanômetros) utilizando inteligência artificial (IA). A tecnologia visa melhorar significativamente a reprodutibilidade e a produtividade do processo.

O KIMM anunciou no dia 17 que a equipe de pesquisa do Centro de Pesquisa de Equipamentos de Semicondutores, liderada pelo pesquisador sênior Kim Hyung-woo, desenvolveu processos de síntese e gravação para semicondutores bidimensionais de próxima geração (MoS₂, WS₂) em wafer de 6 polegadas, utilizando equipamentos PECVD (Deposição Química de Vapor Assistida por Plasma) e RIE (Gravação por Íons Reativos) baseados em plasma de baixa temperatura, e integrou com sucesso esses processos em um sistema inteligente baseado em IA.

Durante o processo, a equipe de pesquisa mediu em tempo real as mudanças na luz e na massa do gás geradas, e utilizou aprendizado de máquina para análise, a fim de prever o estado do processo. A equipe também utilizou diversos equipamentos de diagnóstico em tempo real (OES, ToF-MS, QMS, etc.) para obter dados multimodais de séries temporais, aplicando-os a modelos de aprendizado de máquina, conseguindo prever com precisão a espessura do semicondutor em nível atômico.

A tecnologia é baseada em processos de plasma de baixa temperatura, sendo compatível com equipamentos de produção em massa existentes. A gravação em nível atômico é realizada em um único processo, garantindo eficiência e produtividade. O pesquisador sênior Kim Hyung-woo afirmou que alcançar o nível atômico em processos de semicondutores bidimensionais em escala de wafer de 6 polegadas em ambiente de baixa temperatura é significativo. Ele planeja desenvolver essa tecnologia como uma tecnologia central para a automação e inteligência dos processos de fabricação de semicondutores de próxima geração.