De acordo com pt.wedoany.com-O Ministério da Indústria e Comércio da Rússia (Минпромторг) alocou, por meio de duas licitações, um total de quase 2 bilhões de rublos para o desenvolvimento e produção de materiais de litografia por feixe de elétrons e lift-off, necessários para a fabricação de componentes microeletrônicos e de micro-ondas.

A primeira licitação, no valor de 1,017 bilhão de rublos, destina-se ao desenvolvimento de materiais de litografia por feixe de elétrons; a segunda, no valor de 889,5 milhões de rublos, para o desenvolvimento de materiais de litografia lift-off. Ambos os trabalhos devem ser concluídos até novembro de 2029.

No âmbito do projeto "Resistente a Micro-ondas-1" (СВЧ Резист-1), está previsto o desenvolvimento de 12 tipos de resinas para feixe de elétrons, substituindo os produtos das empresas alemãs Allresist e Microresist, da japonesa ZEON e da americana MicroChem. Já o projeto "Resistente a Micro-ondas-2" (СВЧ Резист-2) planeja desenvolver 7 materiais para substituir as resinas das séries americanas LOR e PMGI. O documento aponta que a Rússia atualmente carece de capacidade de produção nacional para esses materiais, e que as demandas de pesquisa e indústria eram anteriormente atendidas por fornecedores estrangeiros. A litografia por feixe de elétrons permite a fabricação de estruturas ultraprecisas com resolução em escala nanométrica, sendo amplamente utilizada no desenvolvimento de chips e máscaras. A litografia lift-off é empregada na formação de estruturas metálicas em microeletrônica, com importantes aplicações nas áreas de micro-ondas e eletrônica de potência.

Esta nova rodada de licitações dá continuidade ao programa de substituição de importações de materiais microeletrônicos. Anteriormente, o Ministério da Indústria e Comércio da Rússia já havia alocado recursos para o desenvolvimento de fotorresinas, gases especiais e materiais químicos necessários para circuitos integrados e componentes semicondutores.

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